自動2・3次元座標測定機 ZENO-650

高密度化、品質管理の徹底が進むプリント基板の寸法測定に要求される精度と機能を十分に備えたZENO-650。AMICの高剛性設計思想を受継いだ信頼性の高い測定はそのままに、コストダウンの期待にも応える、新コンセプトの精密座標測定機です。

ZENO-650

ZENO-650はPCB用としてワイドな650×550mmの有効測定範囲を持ち、PCBからフィルム・スクリーン・メタルの各種マスクの測定までに対応します。また、用途に合わせて選択できる豊富なオプションにより、PCB製造におけるあらゆる工程でその能力を発揮します。

このクラスの精度・機能の座標測定機では圧倒的なコストパフォーマンスにより、幅広い分野で使っていただける製品となっています。

型式 有効測定範囲 X,Y,(Z) X,Y繰り返し性
ZENO-650 650×550  (×60)mm 3σ≦1.8μm

※( )内のZ軸測定範囲はレーザーオートフォーカス(オプション)搭載時です。

自動2・3次元座標測定機 ZENO-650
主なアプリケーション
  • PCB
  • フィルム・メタル・スクリーンマスク
  • MLCC
  • 精密印刷物
  • 燃料・二次電池関連部品

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AMIC・ZENO 共通オプション

レーザーオートフォーカス顕微鏡

自社製のナイフエッジ法レーザーオートフォーカスよるリアルタイムフォーカスがフォーカス時間を最小限に抑え、測定のタクトタイムを短縮します。また、レーザー変位計として使用することで、測定対象の高さ測定、表面形状のプロファイル測定も可能になります。

プロファイル測定イメージ・プロファイル測定結果グラフ表示

プログラマブルマルチ照明 (PML照明)

測定対象の形状に合せて、斜めからの照明を4方向、3角度から選択可能。段差部に影をつけてエッジを際立たせたり、照明の角度をテーパー部に合わせて光らせたりすることで、標準の照明では見えづらいパターンを正確に測定することが出来ます。 (対物レンズにより照射角度が変更になる場合があります。)

プログラマブルマルチ照明 (PML照明)

カラー画像処理

3CCDカメラの画像をRGBの各色ごとにグレースケール画像処理をかけることにより、モノクロ画像では判別しにくいエッジを検出します。また、カラーでの表面観察、画像サンプリングにも活用できます。

カラー画像処理

レボルバー顕微鏡(AMICのみ対応)
カラー画像処理

最大5種類の対物レンズが搭載できるレボルバー顕微鏡仕様にも対応可能です。高倍率の画像による微細パターンの測定から広視野角での表面観察まで、幅広い用途に対応します。

デュアル顕微鏡

標準の高低2変倍顕微鏡と組み合わせて、もう1本の顕微鏡を追加できます。
アライメントや観察用の広視野仕様、高さ・変位測定用のレーザーAF仕様など、用途に合わせて仕様の設定ができます。

照明オプション

豊富な照明オプションの中から、測定対象に合わせて、理想的な画像を映し出す照明を選択できます。
・短波長LED照明 (ITO測定など)
・UV照明(有機EL蒸着膜測定・観察など) 

※そのほかにもご要望に応じて対応いたします。

アプリケーション紹介

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