超精密自動2次元座標測定機 UMICシリーズ

大型化され、ますます微細化が進むLCDの量産ラインに寸法測定機として数多くの実績を築いたSMICシリーズ。その露光プロセスの原版となるフォトマスクは更に確かさを要求されております。
UMICシリーズはそのフォトマスク寸法管理における原器を目指した超精密寸法測定機です。

UMIC-800EX / 1300EX

絶対的な平面座標系を求め、XY軸の運動精度、Z軸姿勢精度、環境、補正等、あらゆる観点からその確かさを追求したUMICシリーズ。

有効測定範囲、要求精度等、お客様との詳細且つ綿密な打合せのもと、仕様取決めを行わせて頂きます。

型式 有効測定範囲 X,Y
UMIC-800EX 800×800mm
UMIC-1300EX 1300×1500mm
OMIC-800
主なアプリケーション
  • LCD用フォトマスク
アプリケーション紹介

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