大型化され、ますます微細化が進むLCDの量産ラインに寸法測定機として数多くの実績を築いたSMICシリーズ。その露光プロセスの原版となるフォトマスクは更に確かさを要求されております。
UMICシリーズはそのフォトマスク寸法管理における原器を目指した超精密寸法測定機です。