精密自動2次元座標測定機 SMICシリーズ

精度に対する絶対的な信頼でLCD トータルピッチ測長機として実績を積み重ねてきたSMICシリーズ。フォトマスクや有機EL、MEMS等の精密寸法測定にも、その実力を発揮します。
SMICはグラナイト製石定盤、高精度セラミックエアスライダーとファイバー式レーザー干渉測長システムによる高精度XYステージ、高平面度ガラステーブル、高性能サーマルクリーンチャンバーなど、高精度測定を実現するあらゆる技術を駆使し、お客様の信頼に応えます。

SMIC-300Ⅲ

コンパクトボディーにSMICの要素技術を凝縮したシリーズ最小モデルです。このクラスでは圧倒的に優れたハードウェア構造を有し、光コネクターやIC実装用TAB/COF から、MEMS用精密フォトマスク等の寸法測定に測定まで用途を広げています。

型式 有効測定範囲 X,Y X,Y繰り返し性
SMIC-300Ⅲ 300×300mm 3σ≦0.15μm
主なアプリケーション
  • 光コネクター
  • TAB/COF
  • MEMS用フォトマスク

SMIC-300Ⅲ

SMIC-300Ⅲ

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SMIC-800ⅢS / 800Ⅲ

LCDカラーフィルターの測定から始まり、スマートフォンに代表されるモバイル向けLCD、OLEDから、主にICパッケージ用のフォトマスクの測定まで、幅広く使用されるSMICシリーズのベストセラーモデルです。

1993年の初期モデル発売以来、「SMIC」は精密座標測定機を代表するブランドでありつづけています。

型式 有効測定範囲 X,Y
SMIC-800ⅢS 800×800mm
SMIC-800Ⅲ 800×960mm
SMIC-800ⅢS / 800Ⅲ
主なアプリケーション
  • 第4.5世代LCDパネル
  • OLEDパネル
  • OLEDメタルマスク
  • ICパッケージ用フォトマスク

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SMIC-SV1100 / SV1300

第5世代LCD パネルの測定で高いシェアを誇るSMIC-1100Ⅲをモデルチェンジして誕生したSMIC-SV1100。大型モデルで実績のあるガントリーデュアル駆動方式を採用し、コンパクト設計とXY駆動速度アップを実現しました。

同じくSMIC-1300ⅢからモデルチェンジしたSMIC-SV1300は、大型LTPSの主流と目される第5.5世代TPS パネルに対応しています。

型式 有効測定範囲 X,Y
SMIC-SV1100 1100×1300mm
SMIC-SV1300 1300×1500mm
SMIC-SV1300
主なアプリケーション
  • 第5~5.5世代LCDパネル

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SMIC-SV1500 / SV2000 / SV2200

第6世代から第8.5世代まで対応するSMIC シリーズ最大級モデル。大型化しても本質的な精度を追求したその実力は揺るぎません。

高解像度がすすみ、さらなる高精度化が要求される大型LCDパネルの測定においてそのポテンシャルを十分に発揮する、オンリーワンの装置です。

型式 有効測定範囲 X,Y
SMIC-1500Ⅲ 1500×1850mm
SMIC-2000Ⅲ 1950×2250mm
SMIC-2200Ⅲ 2200×2500mm
SMIC-SV2200
主なアプリケーション
  • 第6~8.5世代LCDパネル

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SMICシリーズの特徴

高精度XYステージ駆動

低発熱リニアモーターと高剛性セラミックエアスライダーによる完全非接触のXYステージ駆動が、高精度かつ長期間にわたる安定した測定を約束します。

ファイバー式レーザー干渉計
ファイバー式レーザー干渉計

自社製のファイバー式レーザー干渉計を採用。ファイバー伝送式にすることで熱源となるレーザヘッドを本体から分離でき、測長精度の安定性を向上させています。レーザー波長は自社の波長校正装置で測定・検査され、その品質が保証されています。

ガントリー式デュアルドライブ駆動(SV1100以上)

ガントリー駆動方式を採用した大型モデルでは、リニアモーターとレーザー干渉計をガントリー部の左右に配置し、駆動時のヨーイング成分を自動補正します。さらに、高剛性かつ軽量のセラミック製ガントリーアームが軸の真直性を確保するとともに、2.5nmステップでの200mm/sec高速駆動を実現しています。

高平面度ガラステーブル
高平面度ガラステーブル

上面に研磨ガラスを用いた「平面度調整機構付き二重ガラステーブル」が高いテーブル平面度を保持し、測定対象の姿勢変化を抑えて測定再現性を向上させています。

高性能サーマルクリーンチャンバー

吹出し1点温度±0.05℃、測定テーブル面上温度分布を±0.1℃の均一化された温度制御が、平面座標系における高精度測定を実現する環境を創り出します。また高性能フィルターによりチャンバー内のクリーン度をクラス100以下に保ちます。

アプリケーション紹介

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