白色干渉顕微鏡搭載 2次元座標測定機 OPTIFiS IS-R400

1つの自動測定プログラムで微小寸法、座標などの2D測定と段差、表面粗さなどの3D測定を自由に組み合わせ測定できるため測定効率化を最大限に発揮します。

OPTIFiS IS-R400の3つの要素

高精度XYステージによる精密座標測定

繰り返し精度3σ≦0.5μm

高精度リニアスケールを搭載した自動XYステージで、6インチの範囲での精密座標測定が可能です。フォトマスク、大型フラットパネルディスプレイなどの座標測定で培ったXYステージの運動誤差を最小限にする設計・調整技術、ソフトウェアでの測定範囲全面における高度な補正技術が、測定結果に絶対の信頼性をもたらします。

画像処理によるμmレベルの微小寸法測定

視野内繰り返し精度3σ≦0.03μm

グレースケール画像処理によりカメラのピクセルサイズ以下まで輝度情報を分解してパターンのエッジを検出し、最小1μmの線幅測定に対応します。レンズ収差による誤差を排除する補正により、視野内での繰り返し精度だけでなく、視野内全面における測定再現性を保証します。

白色干渉によるnm分解能高さ測定・表面形状解析

繰り返し精度σ≦40nm

白色干渉方式による非接触測定で、広視野と高分解能を両立させた表面形状、高さ(段差)、粗さ測定が可能です。取得した3Dデータを基にした各種解析機能を豊富に揃え、測定から観察、解析まで幅広い用途で使用いただけます。従来の線粗さ評価に加え最新のJIS B0681-2による面粗さ測定に対応しております。精密微細加工や平滑研磨された部品の面粗さ評価に最適です。

平滑研磨プロセスの事例紹介はこちら

機能紹介

画像処理式2次元寸法測定

画像処理方式で1μmレベルの微小寸法、サブミクロンの座標測定に対応。
専用ソフトウェアで様々な形状の測定対象に対応。

測定モード
測定モード

あらゆる形状・寸法の測定に対応した測定モードを用意。お客様のご要望により、新しいモードの作成にも対応します。

パターンマッチング

予め登録したパターンデータから視野内で類似のパターンを検出します。パターンの位置ずれによる測定エラーを排除します。

パターンマッチング
画像解析機能(オプション)

パターンマッチングや二値化画像からブロブ(塊) を抽出して解析するブロブ解析等の技術を用い、欠陥検査などの画像検査アプリケーションを提供します。
 

画像解析機能

白色干渉による3次元形状測定

高さ測定の分解能が光学分解能に依存しないため、広い測定範囲でも1nm分解能で
高さ(段差)、粗さ測定が可能。

プロファイルウィンドウ
プロファイルウィンドウ

2D表示画像で指示した線上の断面プロファイルを表示します。プロファイルウィンドウでは長さ/ 平均高さ/ 最大・最小高さなどの解析ができ、傾き補正機能(近似直線/2点傾き/曲線/ 円)も完備しています。

面粗さ解析

面粗さの算出、表示を行うウィンドウです。粗さ新基準のJIS B0681-2 に準拠しています。接触式測定機では評価しきれない面情報による正確な粗さ解析を行います。

面粗さ解析ウィンドウ
線粗さ解析

線粗さの算出、表示を行うウィンドウです。JIS B0601:2001/2013に準拠した粗さパラメータに対応しています。
 

線粗さ解析ウィンドウ
スティッチング
スティッチング

複数の3D画像を繋ぎ合わせ、視野にとらわれず広い範囲での3次元形状観察やデータ解析が可能です。

2D/3D測定の完全な融合

2Dと3Dの測定機能の完全な融合により、座標、線幅、高さ、粗さ測定を任意の順序で自動測定可能です。測定の効率化を最大限に発揮します。

2D/3D測定の完全な融合

画像処理による2次元寸法測定と白色干渉法による3次元形状測定を1つの顕微鏡で行うため、すべての測定が顕微鏡の移動を含まずに連続、交互に実行できます。
顕微鏡は最大で5つの対物レンズが装備可能なレボルバー顕微鏡で、画像測定用と白色干渉用のレンズの数量と倍率を自由に組み合わせ可能です。

組み合わせ例
100xレンズ 微細パターン段差測定 3D
50xレンズ 微細線幅測定 2D
20xレンズ 2次元座標測定 2D
10xレンズ 広範囲表面粗さ測定 3D
5xレンズ 5xレンズ 2D

主な仕様

基本システム
最大測定物サイズ W:210 × D:210 × H:50mm
有効測定範囲 X:150 × Y:150mm
Z1軸(ボールねじ駆動):80mm
Z2軸(ピエゾ駆動):200μm
XYステージ 電動XYステージ
顕微鏡 5眼電動レボルバー顕微鏡
対物レンズ 以下の10種類から最大5個選択可能。
画像処理2次元寸法測定用:5×、10×、20×、50×、100×
白色干渉法3次元形状測定用:5×、10×、20×、50×、100×
視野 H:3.50 × V:2.50mm ~ H:0.17 × V:0.12mm
照明 画像処理測定用:同軸落射照明(白色LED) / 透過照明(白色LED)
3次元形状測定用:同軸落射照明(白色LED)
除振機構 アクティブ除振台
2次元寸法測定(画像処理式)
短寸法測定繰り返し性 *1 3σ≦0.03μm(対物レンズ50×以上の時)
XY測定繰り返し性 *2 3σ≦0.5μm(対物レンズ20×以上の時)
Z測定繰り返し性*3 3σ≦1.8μm(対物レンズ50×以上、コントラスト法AFによる測定時)
3次元形状測定(白色干渉法)
垂直分解能 垂直走査法:1nm / 位相シフト法:0.1nm
段差測定繰り返し性 測定段差200μm以下 *4:σ≦0.5%(ピエゾ駆動)
測定段差200μm以上 *3:σ≦1.0%(ピエゾ駆動+ボールねじ駆動)
  • *1 *2 :当社基準ガラスマスク検査時。当社測定条件による。
  • *3 :300μm標準段差検査時。当社測定条件による。
  • *4 :VLSI社製 8μm標準段差にて検査時。当社測定条件による。
外観・システム
本体寸法 W:490 × D:547 × H:771mm(アクティブ除振台含む)
本体重量 約65Kg
コントロールラック寸法 W:683 × D:603 × H:551mm
コントロールラック重量 約50Kg
電源 AC100V 1φ 50/60Hz 約2.0kVA(最大)

白色干渉顕微鏡 IS-R100

白色干渉機能
マニュアルステージタイプ

白色干渉機能と高機能で使いやすい解析ソフトウェアを両立したマニュアルタイプの白色干渉顕微鏡。 表面形状・粗さ等の解析をします。
さらに業界随一のコストパフォーマンスが特徴です。

高さ測定分解能
0.1nm

白色干渉顕微鏡 IS-R100

主な仕様

基本システム
最大測定物サイズ W:201 × D:104 × H:120mm
(H: 対物レンズ5倍時116mm、対物レンズ2.5倍時85mm)
有効測定範囲 X:75 × Y:50mm Z1軸(フォーカシングユニット):30mm
Z2軸(顕微鏡高さ調整可能ストローク):90mm
Z3軸(ピエゾ駆動):250μm(オプション:400μm)
XYステージ 手動
顕微鏡 シングルマウント顕微鏡
対物レンズ 以下の6個から選択。
2.5×、5×、10×、20×、50×、100×
視野 H:7.00 × V:5.00mm ~ H:0.17 × V:0.12mm
照明 同軸落射照明(白色LED)
除振機構 パッシブ除振台(オプション:アクティブ除振台)
3次元形状測定(白色干渉法)
垂直分解能 垂直走査法:1nm / 位相シフト法:0.1nm
段差測定繰り返し性*1 σ≦0.5%
  • *1 :VLSI社製 8μm標準段差にて検査時。当社測定条件による。
外観・システム
本体寸法 W:400 × D:500 × H:750mm±50mm(パッシブ除振台含む)
本体重量 約50Kg
電源 AC100V 1φ 50/60Hz 約2.0kVA(最大)
アプリケーション紹介

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