非接触精密表面形状測定・画像処理式2次元座標測定 OPTIFISシリーズIS-R300

白色干渉顕微鏡に2次元測長機能を追加した業界初のハイブリッド自動測定顕微鏡。3Dと2Dの異なる検査を1台で対応。機能はオールインワンでコストはコンパクトなモデルです。

本装置は生産性向上設備投資促進税制の税制優遇が受けられます。

18nm段差基準ゲージの測定例
20μmの金属配線の寸法測定

簡単操作でナノメートルの3D/2D自動測定を実現

測定画像XY結合機能
測定画像XY結合機能


XY移動をしながら測定した画像をステッチングすることが可能です。視野より広い面の歪みや形状測定や分布の評価に便利です。

広範囲の高さ測定機能
広範囲の高さ測定機能

Z軸に搭載したスケールにて、上面と下面の測定結果をリンクできる為ピエゾの走査範囲以上の段差測定が可能。
ピエゾの走査範囲MAX.400μm)以上の段差の測定が可能。高さのあるワークの測定に効果的です。

ブロブ検査・解析機能
ブロブ検査・解析機能


検出画像内において、欠陥(特徴)とその他を自動で検出します。対象となる欠陥は任意で閾値を設定することが可能です。

 
OPTIFISシリーズ IS-R300

白色干渉自動測定例

  • 白色干渉自動測定例:液晶TV
    TFT基板 電極パターン
    (幅:2μm 高さ:0.4μm)
  • 白色干渉自動測定例:半導体
    Si基板上のレジストパターン
    (溝ピッチ:1.7μm
    深さ:0.25μm)
  • 白色干渉自動測定例:精密加工部品
    金属 研削加工面の傷
    (幅:1.6μm
    深さ:0.3μm)
  • 白色干渉自動測定例:スマートフォン
    タッチスクリーン 銀電極
    (幅:約50μm
    高さ:約13μm)

自動2次元座標測定測定例

  • 自動2次元座標測定測定例:光コネクタ
    光コネクタ ファイバー穴
    偏芯座標測定(径125μm)
  • 自動2次元座標測定測定例:スマートフォン
    タッチスクリーン
    ITOパターン座標測定
  • 自動2次元座標測定測定例:プリント配線版
    プリント配線版
    電極パターン幅測定
  • 自動2次元座標測定測定例:液晶TV
    液晶TFT
    CD/オーバーレイ測定

白色干渉機能

  • 【3Dビューワー】3Dビューワー
    ・3次元データの拡大・回転・移動 ・照明とカラーの2つの表示モード
  • 【2Dビューワー】2Dビューワー
    ・マウスで、指定したポインの高さを表示。 ・マウスで直線指定した箇所の断面プロファイルデータをプロファイルウィンドウに表示。
  • 【プロファイルウィンドウ】プロファイルウィンドウ
    ・2Dビューワーで指定した直線の断面プロファイルを表示・指定範囲の、最大高さ・最小高さ等を算出
  • 【粗さウィンドウ】粗さウィンドウ
    ・JIS B0601:1994/2001に準拠した、線粗さパラメータに対応 ・ISO 025178に準拠した面粗さに対応

自動2次元座標測定機能

画像処理2次元座標測定の計測ソフトウェア「3D-SCAM」。
高い操作性と多様な測定対象に対応した測定・アライメントモードも準備。
お客様の寸法測定作業をサポートします。

メイン画面
メイン画面
アライメント・測定モード
あらゆる二次元形状の測定に対応できる豊富な測定モードが、ユーザのニーズに合った測定を実現。ご要望に応じて新規モードの作成も可能。
ティーチング結果・測定結果表示
測定プログラム作成(ティーチング)結果や測定結果をリアルタイムで表示。CSV形式での保存が可能。
各種操作ツール
倍率切り替え画像取込、各種フォーカス動作、画像フィルター、パターンサーチ等の設定、実行を行います。
測定画像表示
定画像、測定指示ボックス、エッジ検出箇所等を表示。高・低倍の倍率切り替えや、デジタルズーム表示も可能。
  • 【輝度プロファイル表示】輝度プロファイル表示】
    輝度プロファイル表示ができ、輝度値からエッジ情報を数値管理できます。
  • 【画像保存機能】画像保存機能
    画像を自動保存可能です。「全ての画像を保存」「エラー箇所のみ保存」などの設定ができます。
  • 【ティーチングマクロ編集】ティーチングマクロ編集
    照明・オートフォーカス・画像フィルター、測定位置座標など、ワークの状態に応じた測定プログラムの変更が可能。
  • 【パターンマッチング】パターンマッチング
    像を視野内から検出することで、ワークのセッティングずれや設計値からのずれ対応します。

主な仕様

基本システム

白色干渉機能
有効測定エリア X:150 × Y:150mm
高さ計測範囲 100μm / 250μm / 400μm 出荷時選択
結像レンズ 1倍/0.5倍 出荷時選択
Z測定分解能(RMS) 1nm(垂直走査方式) / 0.1nm(位相シフト方式)
段差測定繰返し性 0.25%(対物レンズ10×、4μm段差測定時)
Z軸 フォーカシングユニットストローク 30mm
顕微鏡部マニュアル移動範囲 100mm

 

製品構成

測長機能
有効測定エリア X:150 × Y:150mm
カメラ画素数 打ち合わせによる
XY各軸精度 U1=2.0+L/150μm(対物レンズ10倍選択時)
長寸法繰り返し性 3σ≦0.9μm(対物レンズ10倍選択時)
外観・システム
本体寸法 W:401 × D:574 × H:657mm
本体重量 50Kg
コントロールラック寸法 W:676 × D:596 × H:678mm
コントロールラック重量 60Kg
電源 AC100 50/60Hz
オプション
除振台 パッシブ除振台 / アクティブ除振台
広範囲高さ測定機能 Z軸90mmの範囲で白色干渉測定結果をステッチング
測長用ソフトウェア機能追加 ブロブ検査解析機能
白色干渉用ソフトウェア機能追加 線粗さ解析機能
面粗さ解析機能
OIS-analyzer 白色干渉用オフライン解析ソフト
Recipe Maker レシピ作成・編集支援ソフトウェア
高さ校正用基準片 NIST(アメリカ)校正証明書付き
粗さ基準片 PTB(ドイツ)校正証明書付き

構成

OPTIFISシリーズではお客様の測定用途に合わせ3つのモデルをラインナップ。白色干渉顕機能のみのシンプルなマニュアルタイプと画像処理による測長・検査機能の自動ステージタイプも準備。

白色干渉顕微鏡 IS-R100

機能白色干渉機能
マニュアルステージタイプ

白色干渉機能と高機能で使いやすい解析ソフトウェアを両立したマニュアルタイプの白色干渉顕微鏡。 表面形状・粗さ等の解析をします。
さらに業界随一のコストパフォーマンスが特徴です。

高さ測定分解能
0.1nm

白色干渉顕微鏡 IS-R100

主な仕様

基本システム

白色干渉機能
有効測定エリア X:76 × Y:51mm
高さ計測範囲 100μm / 250μm / 400μm 出荷時選択
結像レンズ 1倍/0.5倍 出荷時選択
カメラ画素数 30万画素(640×480)、120万画素(1280×960)切替
Z測定分解能(RMS) 1nm(垂直走査方式) / 0.1nm(位相シフト方式)
段差測定繰返し性 0.25%(対物レンズ10×、4μm段差測定時)
Z軸 フォーカシングユニットストローク 30mm
顕微鏡部マニュアル移動範囲 90mm
外観・システム
本体寸法 W:230 × D:365 × H:750mm ±50mm
本体重量 30Kg
PC寸法 W:173 × D:471 × H:417mm
PC重量 15Kg
電源 AC100 50/60Hz
オプション
除振台 パッシブ除振台 / アクティブ除振台
広範囲高さ測定機能 Z軸90mmの範囲で白色干渉測定結果をステッチング
白色干渉用ソフトウェア機能追加 線粗さ解析機能
面粗さ解析機能
OIS-analyzer 白色干渉用オフライン解析ソフト
Recipe Maker レシピ作成・編集支援ソフトウェア
高さ校正用基準片 NIST(アメリカ)校正証明書付き
粗さ基準片 PTB(ドイツ)校正証明書付き

自動2次元座標測定機 MS-R200

機能自動2次元座標測定機能
自動XYステージタイプ

画像処理式による座標測定、パターン寸法測定など様々な自動測定が可能な卓上測長機です。
測定画像を輝度情報から数値表示できる為、測定結果を解析できます。
オプションで検査アルゴリズムソフトを追加し検査機としても能力を発揮します。
自動XYステージタイプで、測定者による誤差がなく測定結果はいつでもトレーサブルです。

長寸法繰り返し精度
3σ≦0.9μm

自動2次元座標測定機 MS-R200

主な仕様

基本システム

測長機能
有効測定エリア X:150 × Y:150mm
カメラ画素数 打ち合わせによる
XY各軸精度 U1=2.0+L/150μm(対物レンズ10倍選択時)
長寸法繰り返し性 3σ≦0.9μm(対物レンズ10倍選択時)
外観・システム
本体寸法 W:401 × D:574 × H:657mm
本体重量 50Kg
コントロールラック寸法 W:676 × D:596 × H:678mm
コントロールラック重量 60Kg
電源 AC100 50/60Hz
オプション
測長用ソフトウェア機能追加 ブロブ検査解析機能
広範囲高さ測定機能 Z軸90mmの範囲で白色干渉測定結果をステッチング
C-AUTO オフラインCADティーチングソフトウェア
Recipe Maker レシピ作成・編集支援ソフトウェア
アプリケーション紹介

お電話でのお問い合わせは046-248-0026まで

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