自動2・3次元座標測定機 AMICシリーズ

高密度プリント基板、半導体パッケージ部品、電子部品から大型FPDパネルまで、幅広い分野の寸法管理で活躍する新東Sプレシジョンのスタンダードシリーズ。さらに照明やディスプレイ用としてニーズが高まっているLED分野にも活躍の場を拡げています。
本質的な精度を追求する精緻な機構設計から生まれたAMICは、長年にわたって研究開発・モノづくりの現場で信頼され、活躍し続けています。

AMIC-300/360/361

ファインパターン化するリードフレーム、BGA/CSP、TCP/TAB等の半導体パッケージ部品の寸法管理に最適な小型モデル。LED素子の製造工程における寸法管理にも対応します。

実績のあるベーシックモデルのAMIC-360、高精度モデルのAMIC-361に加え、測定エリアと精度をリニューアルしたAMIC-300をラインナップしています。

型式 有効測定範囲 X,Y,(Z) X,Y繰り返し性
AMIC-300 300×300 (×60)mm 3σ≦0.9μm
AMIC-360 360×360 (×60)mm 3σ≦0.7μm
AMIC-361 360×360 (×60)mm 3σ≦0.5μm

※( )内のZ軸測定範囲はレーザーオートフォーカス(オプション)搭載時です。

AMIC-300
主なアプリケーション
  • ICパッケージ
  • 光コネクター
  • LED関連部品

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AMIC-710/810

AMIC-710は、高密度PCB、MLCCなどの電子部品からFPD、タッチスクリーンまでの幅広い測定でユーザーからの信頼を集めるAMICシリーズのベストセラーモデルです。

鋳鉄製の筐体、高真直性リニアガイド、センタードライブ機構などの要素技術が、AMICを特別な1台に仕上げています。第4.5世代LCDのサイズに対応するAMIC-810も用意しています。

型式 有効測定範囲 X,Y,(Z) X,Y繰り返し性
AMIC-710 700×800 (×100)mm 3σ≦0.9μm
AMIC-810 740×930 (×100)mm 3σ≦0.9μm

※( )内のZ軸測定範囲はレーザーオートフォーカス(オプション)搭載時です。

AMIC-710
主なアプリケーション
  • 高密度PCB
  • フィルム・スクリーン・メタルマスク
  • MLCC
  • タッチスクリーン
  • 第4.5世代LCDパネル

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AMIC大型モデル (1400/1700/1710/2100/2500/2600)

デュアルリニアモータ駆動*1やテーブル平面度調整機構、精緻な補正技術等により、大型化した測定エリアにおいても、信頼性の高い測定座標系を創出しています。

*1 1710以上のモデルに限る

AMIC-2600
型式 有効測定範囲 X,Y,(Z) X,Y繰り返し性
AMIC-1400 1400×1400 (×60)mm 3σ≦2.0μm
AMIC-1700 1700×1700 (×100)mm 3σ≦2.0μm
AMIC-1710 1900×1700 (×100)mm 3σ≦2.5μm
AMIC-2100 2100×1700 (×100)mm 3σ≦2.5μm
AMIC-2500 2100×2500 (×80)mm 3σ≦2.5μm
AMIC-2600 2600×2250 (×100)mm 3σ≦3.5μm

※( )内のZ軸測定範囲はレーザーオートフォーカス(オプション)搭載時です。

主なアプリケーション
  • FPDパネル
  • FPDベアガラス
  • フォトマスク
  • FPD用フィルム

AMIC・ZENO 共通オプション

レーザーオートフォーカス顕微鏡

自社製のナイフエッジ法レーザーオートフォーカスよるリアルタイムフォーカスがフォーカス時間を最小限に抑え、測定のタクトタイムを短縮します。また、レーザー変位計として使用することで、測定対象の高さ測定、表面形状のプロファイル測定も可能になります。

プロファイル測定イメージ・プロファイル測定結果グラフ表示

プログラマブルマルチ照明 (PML照明)

測定対象の形状に合せて、斜めからの照明を4方向、3角度から選択可能。段差部に影をつけてエッジを際立たせたり、照明の角度をテーパー部に合わせて光らせたりすることで、標準の照明では見えづらいパターンを正確に測定することが出来ます。 (対物レンズにより照射角度が変更になる場合があります。)

プログラマブルマルチ照明 (PML照明)

カラー画像処理

3CCDカメラの画像をRGBの各色ごとにグレースケール画像処理をかけることにより、モノクロ画像では判別しにくいエッジを検出します。また、カラーでの表面観察、画像サンプリングにも活用できます。

カラー画像処理

レボルバー顕微鏡(AMICのみ対応)
カラー画像処理

最大5種類の対物レンズが搭載できるレボルバー顕微鏡仕様にも対応可能です。高倍率の画像による微細パターンの測定から広視野角での表面観察まで、幅広い用途に対応します。

デュアル顕微鏡

標準の高低2変倍顕微鏡と組み合わせて、もう1本の顕微鏡を追加できます。
アライメントや観察用の広視野仕様、高さ・変位測定用のレーザーAF仕様など、用途に合わせて仕様の設定ができます。

照明オプション

豊富な照明オプションの中から、測定対象に合わせて、理想的な画像を映し出す照明を選択できます。
・短波長LED照明 (ITO測定など)
・UV照明(有機EL蒸着膜測定・観察など) 

※そのほかにもご要望に応じて対応いたします。

アプリケーション紹介

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