私たちのこだわり

新東Sプレシジョンのキーワードである“超精密”。会社創設以来、実直なまでに精度を追求する中で、長年にわたり培われた要素技術が新東グループとの融合により独自の“価値”を創出します。

  • XYステージ設計技術
    真直性、直交度、ヨーイング、ピッチング、リニアリティといったメカ的運動成分の誤差を抑え、アッベのエラーが最小となる位置に読み取り器を配置したXYステージ設計。上位機種では軸そのものの剛性を高め、大型化しても軽量化できる新東Vセラックス製セラミックスエアスライダーを採用し、更にZ軸固定でXYZ軸駆動のサーフェイス式ステージまで自社で設計。精度要求に合わせた自在なステージ設計が可能です。
  • レーザー測長・制御技術
    ステージ位置の読取り測長器としてファイバー伝送式レーザー干渉計を自社開発。レーザー波長補正機能として温度、湿度、気圧といった環境誤差補正や波長トラッカーによる光学トラッキング補正があります。波長は自社の波長校正装置で測定、検査し、その品質を保証。レーザー干渉計によるステージ制御では2.5nm分解能の駆動制御を可能にしています。
  • 光学設計技術
    座標測定機の測定・検出部である光学顕微鏡を自社設計。多様な照明やカメラの組み合せから、1μm以下の微細パターンや透明膜のような輝度変化が小さく認識しづらいパターンをクリアに映し出す、感度の優れた顕微鏡設計が可能です。
  • 画像処理技術
    画像処理式座標測定機の原点である、CCDカメラで検出した輝度情報を元に位置を検出する256階調グレースケール処理。画像処理の連続する変化点からの求めたいピークの指定や検出するエッジの輝度の明暗方向を指定する機能等、輝度の数値情報による解析手法の開発により、正確な画像位置検出を可能としています。

新東グループにおけるこれからの新東Sプレシジョンは、セラミックやレーザー干渉計といった要素技術におけるキーデバイスを内製化することでものづくりの品質向上をはかります。