OLED(有機ELディスプレイ)

有機ELディスプレイの寸法測定

最新のスマートフォンに搭載されている、鮮やかな映像と「超薄型」が特徴の新世代ディスプレイ、有機ELディスプレイ(OLED)。その高い画質を実現するため、製造工程においては特に有機発光層の蒸着工程での寸法管理がポイントとなっています。新東Sプレシジョンの製品はその開発・試作段階から量産段階に至るまで数多く使用され、有機ELディスプレイ技術の発展に合わせた新しい製品をリリースしています。

LTPSパネル測定

有機ELパネルのバックプレーン(回路基板)には液晶ディスプレイにも使用されるTFT基板、主に低温ポリシリオンTFT(LTPS)基板が用いられます。

この低温ポリシリコンTFT(LTPS)基板の製造工程ではSMICシリーズでのトータルピッチ測定、μ-MシリーズでのCD/オーバーレイ測定が行われます。  (詳細は[液晶ディスプレイ]のページをご参照下さい)。

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有機ELディスプレイの構造

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蒸着用メタルマスク測定

真空蒸着装置でLTPSパネルにRGB3色の有機発光層を蒸着する工程において、蒸着用メタルマスクの寸法測定を行います。
メタルマスクは一定回数使用されると洗浄工程を経て再度蒸着に使用されるため、洗浄後の寸法変化確認のための測定も行われます。また、メタルマスク製造メーカーでは出荷前の測定を行います。

蒸着用メタルマスク測定

測定概要
蒸着用メタルマスク測定

メタルマスクの開口・リブ寸法、蒸着エリア全体の長さ・位置ずれ(歪み)、さらには表面のたわみ量まで測定します。重量のあるメタルマスクを正確に測定するため、剛性を強化した測定テーブルを使用して設置時のメタルマスクの変形を抑えます。

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有機ELパネル測定

有機発光層が蒸着された後の有機ELパネルでは蒸着位置の測定を行います。
この測定にはRGBの色を発光させる技術、カラー画像処理技術、高度なエッジ検出技術が必要となり、
測定だけでなく表面観察にも使用されます。また、測定結果は蒸着装置の補正にも利用されます。

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