最新のスマートフォンに搭載されている、鮮やかな映像と「超薄型」が特徴の新世代ディスプレイ、有機ELディスプレイ(OLED)。その高い画質を実現するため、製造工程においては特に有機発光層の蒸着工程での寸法管理がポイントとなっています。新東Sプレシジョンの製品はその開発・試作段階から量産段階に至るまで数多く使用され、有機ELディスプレイ技術の発展に合わせた新しい製品をリリースしています。
LTPSパネル測定
有機ELパネルのバックプレーン(回路基板)には液晶ディスプレイにも使用されるTFT基板、主に低温ポリシリオンTFT(LTPS)基板が用いられます。
この低温ポリシリコンTFT(LTPS)基板の製造工程ではSMICシリーズでのトータルピッチ測定、μ-MシリーズでのCD/オーバーレイ測定が行われます。 (詳細は[液晶ディスプレイ]のページをご参照下さい)。

蒸着用メタルマスク測定
真空蒸着装置でLTPSパネルにRGB3色の有機発光層を蒸着する工程において、蒸着用メタルマスクの寸法測定を行います。
メタルマスクは一定回数使用されると洗浄工程を経て再度蒸着に使用されるため、洗浄後の寸法変化確認のための測定も行われます。また、メタルマスク製造メーカーでは出荷前の測定を行います。
