MEMS(マイクロマシン)

MEMS(マイクロマシン)の測定

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) とは超小型の電気・機構部品のことで、日本では「マイクロマシン」とも言われています。その技術は姿勢を感知するジャイロセンサー、加速度センサー、ものを動かすマイクロアクチュエーター等に応用されており、製造過程で使用される精密フォトマスクを新東Sプレシジョンの製品で測定します。

MEMS用フォトマスクの測定

MEMSでは半導体の製造技術を用いてシリコンやガラスの基板上に微細な構造体を形成することで、微小歯車などの機械要素部品や、ジャイロセンサー・加速度センサーなどの電子デバイスを作ります。ここではフォトリソグラフィー技術でパターンを形成する際に用いられる精密フォトマスクの測定を行います。

測定概要
MEMS用フォトマスクの測定

フォトマスクのパターンの位置や線幅を測定します。
微細パターンを形成するため、フォトマスクにも1μm以下の幅のパターンがあり、高解像度顕微鏡と画像処理の技術でその測定を可能としています。

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